Der Prototyp des Luftfilters ist ein Atemschutzgerät, mit dem Menschen ihre Atmung schützen. Aufzeichnungen zufolge nutzten die Menschen in Rom bereits im ersten Jahrhundert eine Maske aus Hanf, um sich bei der Reinigung von Quecksilber zu schützen. Seitdem haben auch Luftfilter Fortschritte gemacht, werden jedoch hauptsächlich als Atemschutzgeräte in einigen gefährlichen Industrien eingesetzt, beispielsweise bei der Herstellung gefährlicher Chemikalien. Im Jahr 1827 entdeckte Brown die Bewegungsgesetze winziger Partikel und die Menschen verstanden den Mechanismus der Luftfiltration besser.
Die rasante Entwicklung von Luftfiltern steht in engem Zusammenhang mit der Entwicklung der Militärindustrie und der Elektronikindustrie. Während des Ersten Weltkriegs entstanden aufgrund des Einsatzes verschiedener chemischer Kampfstoffe militärische Gasmasken mit Asbestfaserfilterpapier als Rauchfilterschicht. Glasfaserfiltermedien wurden im Oktober 1940 in den Vereinigten Staaten patentiert. In den 1950er Jahren führten die Vereinigten Staaten eingehende Forschungen zum Herstellungsprozess von Glasfaserfilterpapier durch, wodurch der Luftfilter verbessert und weiterentwickelt wurde. In den 1960er Jahren kamen HEPA-Filter auf den Markt; In den 1970er Jahren verwendeten HEPA-Filter Mikroglasfaserfilterpapier als Filtermedium. Die Filtrationseffizienz von Partikeln mit einer Partikelgröße von 0,13 Mikrometern betrug bis zu 99,9998 %. Seit den 1980er Jahren wurde mit dem Aufkommen neuer Testmethoden, einer verbesserten Nutzungsbewertung und erhöhten Anforderungen an die Filterleistung festgestellt, dass HEPA-Filter ernsthafte Probleme haben, weshalb ULPA-Filter mit höherer Leistung hergestellt wurden. Die Länder arbeiten noch an der Forschung und es wird geschätzt, dass bald fortschrittlichere Luftfilter verfügbar sein werden.
